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Microstruttura e tessitura

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Un rivelatore multifunzione STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy) è ora disponibile presso il Laboratorio di Microscopia Elettronica.

Tra i campi di applicazione più interessanti ricordiamo:

  • analisi dei materiali (polimeri, ceramici, nano-particelle, bordi di grano)
  • semiconduttori (lamelle FIB da dispositivi)
  • scienza della vita (istologia, patologia)


Utilizzando il rilevatore STEM il limite di risoluzione per SEM ad alta risoluzione (HR-SEM) può essere esteso fino a pochi nanometri. Una risoluzione di 0,8 nm a 30 keV (limite superiore del HR-SEM in dotazione) è agevolmente raggiungibile e fornisce ricchi dettagli su scala nanometrica.

Il potere di risoluzione del HR-SEM può essere quindi utilizzato per risparmiare tempo di preparazione ed osservazione dei sistemi TEM per applicazioni ad alta risoluzione e consente un'elevata produttività per le applicazioni di controllo qualità e misure routininaria.

Il rivelatore STEM offre una qualità dell'immagine migliorata dalla rilevazione simultanea in tempo reale del Bright Field (BF), del Dark Field (DF), senza necessità di riallineamento in qualsiasi posizione.

Le caratteristiche uniche del rivelatore STEM sono:

  • risoluzione spaziale migliorata riducendo il volume di generazione, con limitazione dell'aberrazione cromatica introdotta dal sistema di lenti di proiezione rispetto il TEM;
  • miglioramento del contrasto grazie all'aumento sezioni per tensioni di accelerazione inferiori;
  • messa a punto di contrasto unico per campioni a basso contrasto
  • registrazione simultanea di immagini in tempo reale e miscelazione del BF e DF;
  • un ridotto volume di generazione eccitato in sezioni sottili si traduce in un notevole miglioramento della risoluzione per le analisi EDS, consentendo l'analisi nano-particelle

 

 
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STEM detector assembly

Detector systems for the HR-SEM